Furon® 標準バルブ

サンゴバンのFuron^® フッ素樹脂バルブは、半導体製造装置に使用される高純度フッ素樹脂を使用した、高純度、高クリーン度、低圧損の空圧駆動型、手動型バルブです。接液部にはOリング・金属を使用せず、100%高純度PFA／PTFEで構成されています。

フッ素樹脂（Fluoro Polymers）とは、テフロン™に代表されるような Fluorocarbon Polymers／Fluoro Resin のことで、撥水性、疎水性、耐油性、耐薬品性、耐腐食性、絶縁性、滑り性、低摩耗性、非粘着性などの物性をもつ素材です。サンゴバンのFuronシリーズバルブでは、接液部の材質を100％高純度PFA／PTFEで構成してあります。液体に接する面には、O-ring・金属を一切使用しておりません。

テフロン™（Teflon™）は、米国ケマーズ社の登録商標です。ケマーズ社は米国デュポン社より分社化し、その後独立した化学会社です。

製品詳細

Furon^®シリーズ　バルブの概要

HGVシリーズ
オリフィス50mm（2"）の大型2方バルブです。バルブを斜めにすることで圧力損失を低減しています。最高使用圧力0.55MPa、最大背圧0.55MPa、最高使用温度95℃です。動作方法は、エアオペレート・マニュアル型ともに用意しております。

INLシリーズ
オリフィス25mm（1"）の大型2方バルブです。HCV同様に、バルブを斜めにすることで高いCv値を実現しています。最高使用圧力0.55MPa、最大背圧0.55MPa、最高使用温度100℃です。動作方法は、エアオペレート・マニュアル型ともに用意しております。

Q (QV2) シリーズ
オリフィス6.35mm（1/4"）、12.7mm（1/2"）、19.05mm（3/4"）の2方弁です。バルブを解体でき、内部部品の交換が可能です。動作方法は、エアオペレート・マニュアル型ともに用意しております。最高使用圧力0.55MPa、最大背圧0.55MPa、最高使用温度95℃です。

CDVシリーズ
12.7mm（1/2"）オリフィスの2Way・3Wayバルブです。最高使用温度95℃、最高使用圧力・最大背圧はともに0.55MPaです。

J (JV2) シリーズ
19.05mm（3/4"）オリフィスの2方弁です。最高使用温度95℃、最高使用圧力・最大背圧はともに0.55MPaです。

SCMシリーズ
オリフィス3.97mm（5/32″）、9.94mm（5/16″）の手動ボールバルブ（ストップコックバルブ）です。2Way・3Wayを用意しております。最高使用温度60℃、最高使用圧力0.3MPaです。

UPXシリーズ
6.35mm（1/4"）、12.7mm（1/2"）、19.05mm（3/4"）のオリフィスサイズを用意しています。内部素材は改良型PTFEを使用しており、高耐圧、高耐熱、高摩耗性を実現しています。Oring・金属なしの構造です。最高使用温度110℃、最高使用圧力・最大背圧はともに0.69MPaです。

HPVシリーズ
オリフィス3.18mm（1/8"）、4.67mm（3/16"）、6.35mm（1/4"）の小型バルブです。エアオペタイプ、トグルタイプ、マニュアル（マルチターン）を用意しております。最高供給圧力0.69MPa、最大背圧0.55MPa、最高流体温度95℃です。

MCVシリーズ
オリフィス6.35mm（1/4"）、そして9.53mm（3/8"）の逆止弁です。バルブ本体と内部スプリングは100％PFAです。最高使用圧力、最大背圧ともに0.83MPa、クラッキング圧力0.007MPa。最大使用温度95℃です。

LCVシリーズ
オリフィス12.5mm（1/2"）、19mm（3/4"）の逆止弁です。バルブ本体と内部スプリングは100％PFAです。最高使用圧力、最大背圧ともに1.03MPa、クラッキング圧力0.007MPa。最大使用温度121℃です。

LCV7シリーズ
オリフィス50.8mm（2"）の巨大逆止弁です。バルブ本体と内部スプリングは100％PTFEです。最高使用圧力、最大背圧ともに0.55MPa、クラッキング圧力0.007MPa。最大使用温度95℃です。

SBVMシリーズ
オリフィス6.35mm（1/4"）、12.7mm（1/2"）のサックバックバック（＝吸い込む）です。精密なフローコントロールを要求されるピンポイントで使用されます。ウエハー処理工程の最後の「ポタッ」を防止できます。特に腐食性の強い薬液にも対応しております。

MVシリーズ
オリフィス1.56mm（1/16"）の流量調整バルブ・手動制御です。空気、ガス、液体で使用できます。最大使用圧力0.52MPa、最高使用温度100℃です。接液部は100％PTFEで、Oring・金属は使用していません。
参考制御範囲 2.83～22.7L/min（空気）、0.075～0.6L/min（水）

PVシリーズ
口径違いの流量調整バルブです。オリフィス1.56mm（1/16"）、3.16mm（1/8"）、4.76mm（3/16"）、6.35mm（1/4"）、9.53mm（3/8"）、12.7mm（1/2"）を用意しております。接液部は100％PTFEで、Oring・金属は使用していません。最大使用圧力0.52MPa、最高使用温度100℃です。
参考制御範囲 56.6～255L/min（空気）、1.89～0.6L/min（水）

特長

● サンゴバンのFuron^® シリーズ高純度フッ素樹脂バルブは、接液部はすべてOリングフリー、メタルフリーです。特に高耐薬性、耐腐食性を施した機種では、接液部のみならずバルブの全素材で金属を完全に排除し、高耐久の改良型フッ素樹脂を使用したものもあります。

● サンゴバンは、お客様のご要望に合わせたカスタム仕様バルブに対応しております。　　

● サンゴバンのバルブは、基本設計の段階から、流体抵抗、圧力損失、Cv値、弁内液だまりに注意しています。清浄度、サニタリー性、低圧損の用途に最適です。

製品紹介動画

企業概要

Saint-Gobain（サンゴバン）は、半導体業界の黎明期から発展期の1990年代にFuron（フューロン社）と Asti（アスティ社）をサンゴバングループに迎えました。Furonはアメリカ・カリフォルニア州を拠点に、Astiはフランスを拠点に、半導体製造装置のフッ素樹脂製品に特化した製品開発を行っていた革新的企業です。Saint-Gobain機能樹脂事業部（当時はNorton Performance Plastics）は、半導体製造装置向けのフッ素樹脂製品におけるグローバルリーディングカンパニーであり、FuronおよびAstiの事業を引き継ぎ、先端的な製品を開発しています。

Documents

	マイクロエレクトロニクス高純度・流体ハンドリングソリューション (PDF)
	Furon 2インチ HGVM手動バルブ (PDF)
	Furon 2インチ HGVM空圧バルブ (PDF)
	Furon HPV 小型バルブ (PDF)
	Furon SCM2バルブ (PDF)
	Furon SCM3バルブ (PDF)
	Furon サックバックバルブ (PDF)
	Furon UPXバルブ手動マルチターン二方弁 (PDF)
	Furon UPXバルブ手動クウォーターターン二方弁 (PDF)
	Furon UPXバルブ手動三方弁 (PDF)
	Furon UPXバルブ空圧二方弁 (PDF)
	Furon UPXバルブ空圧三方弁 (PDF)
	性能報告書　Furon HGVMバルブ 49wt％フッ化水素酸（HF）の加速耐久性試験 (PDF)
	性能報告書　Furon HPVMバルブ 49wt％フッ化水素酸（HF）使用に関する信頼性 (PDF)
	性能報告書　Furon Qバルブパーティクル発生及び金属抽出報告書 (PDF)
	性能報告書　Furon HPVMバルブ塩化水素（HCI）37wt％中での信頼性 (PDF)