特長

サンゴバン機能樹脂事業部では、製品を通じてエレクトロニクス市場のお客様に最高レベルのサポートと技術をご提供できるよう努めており、半導体製造装置、FPD製造装置の薬液・スラリー供給のためのカスタム仕様製品、特注製品の開発生産を行っております。特殊仕様のバルブの開発設計や、2個以上のバルブ・タンクを合体させて一つの製品として組み立て、生産いたします。マニホールド（Manifold）とは、多様性、多岐性の意味の英語で、多岐管と訳される場合もあります。

バルブ・タンクなどの複数部品をマニホールド化することのメリット

省スペース化・低コスト化
2個以上の機能部品を合体させるこ とにより、中間の配管・接手が不要になります。それによりスペースを縮小でき、それらの配管・接手コストを節約することが可能です。

組立工程の省略化　
マニホールドバルブは、予め工場で生産・組立してありますので、お客様の現場での組立作業を低減することができます。

漏れリスクの低減
バルブなどが接手で接合されている場合は、漏れリスクが発生します。マニホールドバルブは工場生産時に本体接手一体で生産しますので、接合部分・接手部分を減らすことができます。

清浄度の向上
接手はパーティクルの発生源に成り得ます。マニホールドバルブは接手の減少、液だまりの減少を図ることができ、プロセスをよりクリーンに保つことができます。

● Oリングフリー・メタルフリー
サンゴバンは、フッ素樹脂製品の加工、成型、切削、溶接、T&G（O-ringを使用しない接合）を得意としています。そして、様々なプラスチック材料を使用し、金属を使用しない製品を設計・製造できます。T&Gとはサンゴバンの特許技術で、Oringなし・接着なしで2つの部材を接合できます。　

T&Gの詳しい解説は動画をご覧ください。

● ローリングダイアフラム
ローリングダイアフラム技術で、バルブの省スペース化 と バルブの大流量化を実現できます。ローリングダイアフラムとはサンゴバンの特許技術で、製品を小型化し、圧力損失を低減することが可能です。　

　
詳しくは動画をご覧ください。

用途

半導体製造装置、FPD製造装置など

規格

SEMI F57、SEMI C90などのSEMI規格各種、防爆仕様など。　　

詳細はサンゴバンまでお問い合わせください。

クリーン度

サンゴバンFuron^®シリーズの製品は、クリーンルーム内で組立、梱包されています。

企業概要

Saint-Gobain（サンゴバン）は、半導体業界の黎明期から発展期の1990年代にFuron（フューロン社）と Asti（アスティ社）をサンゴバングループに迎えました。Furonはアメリカ・カリフォルニア州を拠点に、Astiはフランスを拠点に、半導体製造装置のフッ素樹脂製品に特化した製品開発を行っていた革新的企業です。Saint-Gobain機能樹脂事業部（当時はNorton Performance Plastics）は、半導体製造装置向けのフッ素樹脂製品におけるグローバルリーディングカンパニーであり、FuronおよびAstiの事業を引き継ぎ、先端的な製品を開発しています。

製品紹介動画

Furon® ローリングダイアフラムについて（日本語字幕）

このページに関するお問い合わせ

サンゴバン株式会社 機能樹脂事業部
ライフサイエンス　カスタマーサービス
Tel: 050-8882-6342　Fax: 0266-70-1002
E-mail: ls-japan@saint-gobain.com

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