Furon® 付帯部品、アクセサリー

サンゴバンのFuron^®シリーズでは、半導体製造装置、FPD製造装置用のバルブ・ポンプに加え、圧力調整弁、アスピレーター（薬液排出吸引器）、圧力計保護器、スタティックミキサー、圧力逃し弁、Flare接手、溶接接手を取り揃えております。

これらの製品は、半導体製造装置用に高純度フッ素樹脂、コンタミフリー、低溶出、Oリングなしで構成されています。

製品詳細

Furon^®シリーズ　アクセサリーの概要

アスピレーター（Aspirator）
薬液排出のための吸引器です。ポンプのような摺動部がないので、高寿命であることが最大のメリットです。アスピレーター本体に純水、CDA または窒素を供給することにより、アスピレーター内部に真空を作り出すことができ、その内部真空により液体を輸送（または希釈）することができます。エジェクター（Ejector）と呼ばれることもあります。FuronA-1886、A-1866、1104431、1104799シリーズでは、耐腐食性のあるフッ素樹脂を使用し、Oリングなし、金属部なしで構成されています。　

ゲージプロテクター（Gauge Protector)
圧力計保護器です。半導体製造装置に使用される薬品は、さまざまな素材を浸食・腐食させることがあります。攻撃性の高い薬品から圧力計を保護する際に、サンゴバンのフッ素樹脂製のゲージプロテクターはお役に立てます。接液部はOリングなし、金属なしで構成されています。最高使用温度150℃、最高使用温度0.83MPaです。

スタティックミキサー
撹拌機を使用しないで、配管内部で2種以上の薬液を混ぜることができます。ミキサー内部に稼働部ありません。本体材質は100%フッ素樹脂で、Oring不使用、金属不使用です。接手サイズ約50ｍｍ（1"）と接手サイズ12.7mm（1/2"）、最高使用圧力0.62MPa、温度範囲5-100℃です。

圧力リリーフバルブ
インラインタイプの圧力逃し弁です。接液部は100％フッ素樹脂、Oリング不使用、金属不使用の構造です。作動圧力調整範囲0.17～0.38MPa（ノブにて調整）、最高使用温度95℃です。

圧力調整弁・UPBM
圧力レギュレター（空圧制御、スプリング制御）を用意しております。弁の1次側の圧力を安定させたい場合に最適です。接液部は100％フッ素樹脂、Oringなし、金属なしです。最高使用温度90℃、最高使用圧力0.62MPa、圧力制御範囲0.1～0.41MPaまたは0.07～0.275MPaです。

圧力調整弁・UPRM
圧力レギュレター（空圧制御、スプリング制御）を用意しております。弁の2次側の圧力を安定させたい場合に最適です。接液部は100％フッ素樹脂、Oringなし、金属なしです。最高使用温度90℃、最高使用圧力0.62MPa、圧力制御範囲0.1～0.41MPaまたは0.07～0.275MPaです。

圧力調整弁・UPRP
圧力レギュレター（空圧制御、スプリング制御）を用意しております。弁の2次側の圧力をより高精度に安定させたい場合に最適です。
空気供給圧と液体制御圧を1:1に保つことができます。接液部は100％フッ素樹脂、Oringなし、金属なしです。最高使用温度90℃、最高使用圧力0.62MPa、圧力制御範囲0.14～0.41MPaまたは0.07～0.21MPaです。

FlareGrip® II
Furon^®製品の高純度PFA製の標準接手です。サンゴバンのバルブ・ポンプに使用されています。エルボ・チーズ・ユニオンなど、NPT、溶接接手などの変換アダプターも各種取り揃えております。

FuseBondTM
Furon^®製品の溶接接手です。FlareGrip® IIや、NPTとの変換アダプターなど、各種取り揃えております。

用途

半導体製造装置、CMP、洗浄装置、スラリー供給装置、薬液供給装置、液晶製造装置、有機EL製造装置、太陽光パネル製造装置

製品紹介動画

企業概要

Saint-Gobain（サンゴバン）は、半導体業界の黎明期から発展期の1990年代にFuron（フューロン社）と Asti（アスティ社）をサンゴバングループに迎えました。Furonはアメリカ・カリフォルニア州を拠点に、Astiはフランスを拠点に、半導体製造装置のフッ素樹脂製品に特化した製品開発を行っていた革新的企業です。Saint-Gobain機能樹脂事業部（当時はNorton Performance Plastics）は、半導体製造装置向けのフッ素樹脂製品におけるグローバルリーディングカンパニーであり、FuronおよびAstiの事業を引き継ぎ、先端的な製品を開発しています。

Documents

	Furon 圧力調整弁UPBM手動 (PDF)
	Furon 圧力調整弁UPBM空圧 (PDF)
	Furon 圧力調整弁UPRM手動 (PDF)
	Furon 圧力調整弁UPRM空圧 (PDF)
	Furon 圧力調整弁UPRP空圧1インチ (PDF)
	Furon 圧力調整弁UPRP手動1/4インチ (PDF)
	Furon 圧力調整弁UPRP空圧1/4インチ (PDF)
	Furon アスピレーター (PDF)
	Furon スタティックミキサー (PDF)
	Furon® Flaregrip® Ⅱ High-Purity Fitting (PDF)
	Furon® FuseBond™ High-Purity Fitting (PDF)
	Versilon™ HP PFA 400 High-Purity Tubing (PDF)
	Versilon™ HP PFA 400 UC High-Purity Tubing (PDF)
	Furon® High-Purity Gauge Protector (PDF)
	Furon® Pressure Relief Valve (PDF)